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外延片测温仪

描述:Sekidenko OR4000E 外延片测温仪可实现两通道多波长测温。其光学系统可依据具体应用选择光纤镜头或者蓝宝石光管。相较于Sekidenko OR4000T增加了发射率实时测量功能。
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更新时间: 2020-05-16

产品介绍

Sekidenko OR4000E 外延片测温仪主要特点

  • 多通道测量,通道数可达2个

  • 多波长测量,波长范围:UV … 2300nm

  • 各通道独立配置波长,发射率和光纤镜头/光导管

  • 发射率实时测量

  • RF、EMI免疫,可用于强电磁干扰环境

详细说明

OR4000多通道光纤温度计(OFT)是OR2000的升级产品。 OR4000E较OR4000TE额外增加了实时发射率测量功能。

OR4000E使用主动发射率补偿功能进行精确的温度测量,以在变化的发射率条件下进行精确的测量和控制。读取速率高达2 kHz,能够准确跟踪快速的温度变化。 在动态应用中,这可以实现闭环温度控制并优化工艺产量。

OR4000T可根据目标材料、工艺温度范围和工作距离(100 mm 到 3000 mm),为各个通道配置不同测量波长。

典型应用

  • Epi

  • CVD

  • MOCVD

  • 其它基板发射率变化的工艺

 

技术参数

通用参数

配置

1-4通道温度测量,各通道独立配置

温度范围

50 至 3500°C

实时发射率范围

0.03 to 1.0

波长UV 至 2300 nm 
读取速率

温度读取速率, 2KHz

用于实时发射率测量,500Hz

测温精度±1.5°C

控制/重复精度

±0.1°C

分辨率0.001°C
接口
屏幕显示内置,4 x 20 LCD 显示,键盘输入
数据 I/ORS-232, RS-422/485, 和 Ethernet
模拟输出0 至 10 V 或 4 - 20 mA
电参数

输入电压

AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz

DC: +24 VDC

环境参数
使用环境5 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露
物理特性
物理尺寸

8.6 cm (H) x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)

3.4" (H) x 6.0" (W) x 8.6" (D)

重量4.5 lb (2 kg)
安装外壳底部,M5 X 0.75螺纹(有关更多信息,请参阅手册)
电源线电流100 VAC时,小于0.7A
响应时间小于2ms @ 2KHz的采样率(仅温度测量)

Sekidenko OR4000E 外延片测温仪

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