服务热线
18910232138
产品介绍
Sekidenko OR4000E 外延片测温仪主要特点
多通道测量，通道数可达2个
多波长测量，波长范围：UV … 2300nm
各通道独立配置波长，发射率和光纤镜头/光导管
发射率实时测量
RF、EMI免疫，可用于强电磁干扰环境
详细说明
OR4000多通道光纤温度计（OFT）是OR2000的升级产品。 OR4000E较OR4000TE额外增加了实时发射率测量功能。
OR4000E使用主动发射率补偿功能进行精确的温度测量，以在变化的发射率条件下进行精确的测量和控制。读取速率高达2 kHz，能够准确跟踪快速的温度变化。 在动态应用中，这可以实现闭环温度控制并优化工艺产量。
OR4000T可根据目标材料、工艺温度范围和工作距离(100 mm 到 3000 mm)，为各个通道配置不同测量波长。
典型应用
Epi
CVD
MOCVD
其它基板发射率变化的工艺
技术参数
| 通用参数 | |
配置 | 1-4通道温度测量，各通道独立配置 |
温度范围 | 50 至 3500°C |
实时发射率范围 | 0.03 to 1.0 |
| 波长 | UV 至 2300 nm |
| 读取速率 | 温度读取速率， 2KHz 用于实时发射率测量，500Hz |
| 测温精度 | ±1.5°C |
控制/重复精度 | ±0.1°C |
| 分辨率 | 0.001°C |
| 接口 | |
| 屏幕显示 | 内置，4 x 20 LCD 显示，键盘输入 |
| 数据 I/O | RS-232, RS-422/485, 和 Ethernet |
| 模拟输出 | 0 至 10 V 或 4 - 20 mA |
| 电参数 | |
输入电压 | AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz DC: +24 VDC |
| 环境参数 | |
| 使用环境 | 5 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露 |
| 物理特性 | |
| 物理尺寸 | 8.6 cm (H) x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D) 3.4" (H) x 6.0" (W) x 8.6" (D) |
| 重量 | 4.5 lb (2 kg) |
| 安装 | 外壳底部，M5 X 0.75螺纹（有关更多信息，请参阅手册） |
| 电源线电流 | 100 VAC时,小于0.7A |
| 响应时间 | 小于2ms @ 2KHz的采样率（仅温度测量） |
Sekidenko OR4000E 外延片测温仪
相关产品
- (上一篇)：Sekidenko OR400T外延片测温仪
- (下一篇)：Sekidenko OR4000T红外测温仪