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外延片测温仪

描述:Sekidenko MXE 外延片测温仪采样速率高达10kHz,并可实时测量反射率和温度,确保了动态测量的精确性。该产品有三种配置,分别为:温度测量;反射率测量;温度+反射率测量.
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更新时间: 2020-05-16

产品介绍

Sekidenko MXE 外延片测温仪主要特点

  • 实时,非接触温度和发射率测量

  • 高速测量非常适合各种应用

  • 多种可用温度+反射波长

  • 多种输出接口包括EtherCAT®, USB, 和模拟输出

  • 增强了工艺的可预见性

  • 高度可配置的平台

  • 提高了测温精度和重复精度

  • 增强了工艺的一致性

  • 提高了生产效率、产量和吞吐量

  • 易于集成和灵活控制

概述

Sekidenko MXE高温计集速度和精度于一身,可对苛刻的应用进行精确,非接触,可重复的测量和控制。它的高速(高达10 kHz)性能非常适合移动目标过程温度测量(例如旋转基座)。它也非常适合于动态过程,包括基于激光处理和快速退火。为了易于集成和灵活控制选项,MXE单元设计的非常紧凑,并支持各种I / O协议

 

技术参数

通用参数

配置

仅测量温度

测量温度和反射率

仅测量反射率

温度范围

取决应用

读取速率可达 10 kHz
测温精度±1.5°C

重复精度

±0.1°C

分辨率0.001°C
反射率测量精度±1 %
反射率重复精度±0.5 %
工作距离100 至 450 mm
目标尺寸可小到 2…8 mm
电参数

输入电压

AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz

DC: +24 VDC

环境参数
使用环境18 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露
物理特性
尺寸

229 mm (D) x 127 mm (W) x 46 mm (H)

重量

小于1.54 kg (3.4 lb)

安装

倾斜台和XY台可选

接口
EtherCAT® Protocol符合EtherCAT®标准

USB 2.0

10 kHz数据传输速率高达2 kHz

RS-232

可选波特率高达460800;7E1或8N1

模拟输出

0 至 10 V 或 4 至 20 mA

控制 I / O

同步输出,警报输出,源联锁

系统要求

I5或同等处理器,带有Beckhoff合格的网卡,建议用于以太网CAT®支持

Sekidenko MXE 外延片测温仪

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