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Luxtron荧光光纤测温仪

描述:m920 Luxtron荧光光纤测温仪包括四通道 m924 和两通道 m922 半导体模块,设计用于蚀刻机和晶圆厂设备对静电卡盘,真空腔室和其他设备的温度进行监控。
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更新时间: 2020-05-18

产品介绍

详细说明

  • 2 通道或 4 通道可选

  • 模块,探头、通道可灵活组合

  • 可靠的设计- 全球已安装上万套 Luxtron 系统

  • 可为 OEM 应用订制探头

  • 探头适用于所有电磁干扰环境:等离子体、射频、微波、磁性、高压

  • 可选配金属外壳


基于现场可靠性验证和丰富的技术应用支撑的新型高性能光纤荧光温度传感解决方案

LumaSense 拥有超过40年的将光纤温度解决方案集成到具有挑战性的应用中的经验. 已经安装了数千个具有可靠性能的 Luxtron OEM 模块.

灵活的探头混搭设计

m920 系列模块和 LumaSense 探头相互之间可以任意匹配。 任何 m920 系列模块都可以与任何通道上的任何探头一起使用,而无需校准. m920 系列内置了与LumaSense 探头匹配的校准表,可进行高精度测量.

轻松集成到OEM设备

m920 系列包含两块线路板。主板包含光纤荧光测温度通道,数字输出 (RS-232 ASCII, RS-485 Modbus), 和电源连接. 模拟输出线路板安装在主板上方,提供 0 … 10V 或 4 … 20mA 输出. 用户可根据实际情况选配保护外壳.

Luxtron荧光光纤测温仪m920系列主板解调来自 Fluoroptic® 探头的测量信号并将校准后的温度报告给 OEM 控制系统. 非金属探头通过坚固的光纤与主板连接,可在恶劣环境下应用.

向下兼容 LUXTRON m822 和 m600 系列模块, Luxtron 荧光探头

m920 OEM 系统适用于当前所有的 Luxtron® 品牌的荧光探头和光纤延长线. Luxtron® 品牌拥有超过25年的经验并在全球范围内安装了上万套系统,是光纤温度测量值得信赖的来源. 此外,m920 系列用户界面命令与 m822 和 m600 系列 OEM 模块基本相同.

典型应用

  • 等离子刻蚀机卡盘温度监控

  • Shower Head温度监控

  • 真空腔体温度监控

  • 其他晶圆设备温度监控

  • 使用RF和等离子的半导体和FPD处理

Luxtron荧光光纤测温仪技术参数

通道数m922: 2
m924: 4
采样率每个通道高达 50 Hz
温度范围-100 ... 330 °C (取决于探头)
精度 (取决于探头)±0.05 °C
温度分辨率0.01°C
工作温度-40 °C ... 85 °C
模拟输出0-10 V or 4-20 mA
串口通讯RS-232 and RS-485
协议ASCII 和 Modbus (RS-485)
输入电压额定+5 … 24VDC  @ 100 mA
尺寸 (主板)23.7 mm (H) x 100.6 mm (W) x 134.4 mm (L)
选配件用于电磁屏蔽的金属外壳

 

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